Immer kleinere Fußabdrücke
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| Published in | Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Vol. 35; no. 6; p. 3 |
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| Main Author | |
| Format | Journal Article |
| Language | English |
| Published |
01.12.2023
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Cover
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| ISSN: | 0947-076X 1522-2454 |
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| DOI: | 10.1002/vipr.202370601 |