Nanopositionierungen - die Basis der Nanometrologie (Nano Positioning Devices – The Basis of Nano-Metrology)

• Published in: Technisches Messen Vol. 67; no. 7; pp. 298 - 305
• Main Author: Wilkening, Günter
• Format: Journal Article
• Language: English; German
• Published: Oldenbourg Wissenschaftsverlag 01.07.2000; Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH
• ISSN: 0171-8096; 2196-7113
• DOI: 10.1524/teme.2000.67.7-8.298

Nanopositionierungen sind wesentliche Hilfsmittel für die Nanotechnologie, insbesondere auch für die Nanometrologie. Einsatzgebiete für die Positionierungen sind nicht nur auf Verschiebewege im μm-Bereich beschränkt, sondern umfassen auch den Bereich bis über 100 mm hinaus. Es sind eine Reihe verschiedener Verschiebemethoden für die 2D-Positionierung in der Literatur beschrieben worden und z.T. auch kommerziell erhältlich. Ebenso sind adäquate Messmethoden realisiert worden. In der vorliegenden Übersicht sind verschiedene relevante Verschiebe- und Messmethoden tabellarisch zusammengefasst worden. Drei Beispiele von Positionierungen werden detaillierter erläutert, bei denen sehr unterschiedliche Konzepte realisiert wurden.