分子束外延生长过程中GaAs(001)表面铝液滴的扩散成核过程

O471.1; 量子点的性质主要由其密度及尺寸参数控制,而原子在衬底上的成核运动又决定了量子点的密度、直径、高度等参数,因此研究原子的扩散成核过程对自组装制备量子点具有重要意义.本文通过分子束外延生长技术研究了GaAs(001)表面金属铝液滴的成核过程,发现衬底温度和金属铝沉积速率的变化直接影响了液滴的尺寸、密度以及形状等特征.根据经典成核理论分析GaAs(001)表面金属铝液滴空间分布与几何结构的演化规律,推导得出表面金属铝液滴密度与衬底温度、金属铝沉积速率的关系方程.在此基础上,进一步计算得出液滴形成过程中未成核态、临界成核态、成核态三种亚稳态所包含的最小原子数分别为1个、2个、5个....

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Published in人工晶体学报 Vol. 50; no. 2; pp. 283 - 289
Main Authors 蒋冲, 王一, 丁召, 黄延彬, 罗子江, 李志宏, 李耳士, 郭祥
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025 01.02.2021
贵州大学大数据与信息工程学院,贵阳 550025
半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳 550025%贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025
贵州财经大学信息学院,贵阳 550025
半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳 550025
Subjects
成核生长
衬底温度
铝液滴
团簇的扩散动力学
分子束外延
族半导体
沉积速率
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Summary:O471.1; 量子点的性质主要由其密度及尺寸参数控制,而原子在衬底上的成核运动又决定了量子点的密度、直径、高度等参数,因此研究原子的扩散成核过程对自组装制备量子点具有重要意义.本文通过分子束外延生长技术研究了GaAs(001)表面金属铝液滴的成核过程,发现衬底温度和金属铝沉积速率的变化直接影响了液滴的尺寸、密度以及形状等特征.根据经典成核理论分析GaAs(001)表面金属铝液滴空间分布与几何结构的演化规律,推导得出表面金属铝液滴密度与衬底温度、金属铝沉积速率的关系方程.在此基础上,进一步计算得出液滴形成过程中未成核态、临界成核态、成核态三种亚稳态所包含的最小原子数分别为1个、2个、5个.
ISSN:1000-985X