化学气相沉积ZnS、ZnSe研究进展

TN219%TN304.55%TB34; 化学气相沉积(CVD)ZnS、ZnSe具有较高的红外透过率及良好的光学、力学性能,是红外军用探测系统首选的红外光学材料.大尺寸、高均匀性ZnS、ZnSe材料的制备是未来研究的重要课题.本文介绍了CVD的原理及在沉积过程中存在的主要问题,阐述了高性能红外材料必备的光学性能,综述和分析了CVD ZnS、CVD ZnSe的研究进展,以及这两种材料主要缺陷形成机理与工艺控制研究.旨在改进生产工艺参数,为批量化制备高性能ZnS、ZnSe材料提供理论参考,以满足其在军事领域上的应用....

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Published in人工晶体学报 Vol. 52; no. 12; pp. 2125 - 2134
Main Authors 赵小玻, 韦中华, 张旭, 钱纁, 于浩海
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 北京中材人工晶体研究院有限公司,北京 100018 2023
山东大学晶体材料研究院,济南 250100%中材人工晶体研究院有限公司,北京 100018
Subjects
化学气相沉积
透过率
absorption coefficient
缺陷
红外光学材料
defect
chemical vapor deposition
吸收系数
infrared optical material
ZnSe
transmittance
ZnS
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ISSN1000-985X
DOI10.3969/j.issn.1000-985X.2023.12.006

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Summary:TN219%TN304.55%TB34; 化学气相沉积(CVD)ZnS、ZnSe具有较高的红外透过率及良好的光学、力学性能,是红外军用探测系统首选的红外光学材料.大尺寸、高均匀性ZnS、ZnSe材料的制备是未来研究的重要课题.本文介绍了CVD的原理及在沉积过程中存在的主要问题,阐述了高性能红外材料必备的光学性能,综述和分析了CVD ZnS、CVD ZnSe的研究进展,以及这两种材料主要缺陷形成机理与工艺控制研究.旨在改进生产工艺参数,为批量化制备高性能ZnS、ZnSe材料提供理论参考,以满足其在军事领域上的应用.
ISSN:1000-985X
DOI:10.3969/j.issn.1000-985X.2023.12.006