改进型单晶炉提拉系统偏心平衡研究

TN305; 随着光伏行业的快速发展,对硅单晶的品质和长晶装备的稳定性的要求也不断提高.直拉法是生产硅单晶的主要方法,通过提高单晶炉副室的高度以扩大单晶硅的生产规模.由于副室高度的大幅增加,且单晶炉提拉头质心相对于旋转轴心有一定距离,对单晶炉整体稳定性有较大影响,从而降低了单晶硅的生产质量.针对此问题,对单晶炉建立可靠的力学分析模型,采用数值仿真方法,对单晶炉整体进行动力学响应分析,计算得到副室高度增加后的单晶炉工作时中钨丝绳下端晶棒的运动规律以及最大摆动幅度,为改进设计提供依据.数值仿真分析表明提高单晶炉副室高度后,提拉头较大的质心偏心是单晶炉提拉系统发生摆动的主要原因.在此基础上提出在提拉...

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Published in人工晶体学报 Vol. 50; no. 9; pp. 1774 - 1779
Main Authors 王维, 黄鸣, 常晓鱼, 张昊, 吴奇, 龙连春
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 北京北方华创真空技术有限公司,北京 100015%北京工业大学材料与制造学部,北京 100124 01.09.2021
Subjects
改进型单晶炉;硅单晶;提拉头质心;偏心;数值模拟;动力学响应
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Summary:TN305; 随着光伏行业的快速发展,对硅单晶的品质和长晶装备的稳定性的要求也不断提高.直拉法是生产硅单晶的主要方法,通过提高单晶炉副室的高度以扩大单晶硅的生产规模.由于副室高度的大幅增加,且单晶炉提拉头质心相对于旋转轴心有一定距离,对单晶炉整体稳定性有较大影响,从而降低了单晶硅的生产质量.针对此问题,对单晶炉建立可靠的力学分析模型,采用数值仿真方法,对单晶炉整体进行动力学响应分析,计算得到副室高度增加后的单晶炉工作时中钨丝绳下端晶棒的运动规律以及最大摆动幅度,为改进设计提供依据.数值仿真分析表明提高单晶炉副室高度后,提拉头较大的质心偏心是单晶炉提拉系统发生摆动的主要原因.在此基础上提出在提拉头上添加质心调节装置,通过控制系统调节可保证提拉头质心位置在旋转轴线上以降低提拉系统的摆动.
ISSN:1000-985X
DOI:10.3969/j.issn.1000-985X.2021.09.022