光栅直线位移测量技术研究进展与展望

• Published in: 电测与仪表 Vol. 62; no. 2; pp. 51 - 61
• Main Authors: 赵志财, 于海, 万秋华, 赵长海, 李勇杰
• Format: Journal Article
• Language: Chinese
• Published: 中国科学院大学,北京 100049%中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033 15.02.2025; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033
• Subjects: prospect; high precision; research pro-gress; 光栅直线位移测量; 大量程; 高精度; 高分辨力; 展望; grating linear displacement measurement; large range; 研究进展; high resolution
• ISSN: 1001-1390
• DOI: 10.19753/j.issn1001-1390.2025.02.007

TM932; 直线位移测量技术在机械精密制造领域扮演着至关重要的角色,是保证加工精度的关键.与其他直线位移测量技术相比,光栅直线位移测量技术具有测量精度高、抗干扰能力强,易于实现大量程测量等优点,已成为当下研究热点之一,为进一步开展光栅直线位移测量技术研究,文中分析了三种光栅直线位移测量系统的测量原理,归纳整理了三种光栅直线位移测量的研究进展,并总结现有研究的优点与存在的不足:基于莫尔条纹的光栅直线位移测量技术受限于衍射极限的影响,分辨力难以进一步提高,基于衍射光栅的直线位移测量技术难以实现绝对位置测量,基于图像处理算法的直线位移测量技术存在集成化程度较低、测量范围有限等缺点,展望了光栅直线位移测量技术的发展方向.为开展光栅直线位移测量技术研究提供依据.