PEG/WCl6添加比例对WO3薄膜形貌及气敏特性的影响

TP212; 以氯化钨(WCl6)、无水乙醇(C2H5OH)和二甲基甲酰胺(C3H7NO)为前驱体,以聚乙二醇(PEG-1000)为造孔剂,采用非水解溶胶-凝胶法制备WO3多孔薄膜,考察了PEG与WCl6添加比例对薄膜形貌结构和气敏特性的影响.结果表明,在PEG与WCl6添加比例为0.5时可获得形貌均一、孔隙率高、比表面积大的WO3多孔薄膜.所获WO3薄膜具有单一的单斜晶系结构,主要由直径为20～60 nm的纳米颗粒所构成.气敏特性研究结果表明,WO3多孔薄膜呈现n型半导体特性,在最佳工作温度100℃时表现出对NO2良好的气敏性能;WO3薄膜的成膜机理表明,造孔剂PEG-1000引导无机材料形...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in东北大学学报（自然科学版） Vol. 40; no. 8; pp. 1166 - 1171
Main Authors 周鹏飞, 赵思凯, 王玮, 沈岩柏
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 东北大学 资源与土木工程学院,辽宁 沈阳,110819 01.08.2019
Subjects
气敏特性
PEG
WO3薄膜
非水解溶胶-凝胶法
成膜机理
Online AccessGet full text
ISSN1005-3026
DOI10.12068/j.issn.1005-3026.2019.08.019

Cover

More Information
Summary:TP212; 以氯化钨(WCl6)、无水乙醇(C2H5OH)和二甲基甲酰胺(C3H7NO)为前驱体,以聚乙二醇(PEG-1000)为造孔剂,采用非水解溶胶-凝胶法制备WO3多孔薄膜,考察了PEG与WCl6添加比例对薄膜形貌结构和气敏特性的影响.结果表明,在PEG与WCl6添加比例为0.5时可获得形貌均一、孔隙率高、比表面积大的WO3多孔薄膜.所获WO3薄膜具有单一的单斜晶系结构,主要由直径为20～60 nm的纳米颗粒所构成.气敏特性研究结果表明,WO3多孔薄膜呈现n型半导体特性,在最佳工作温度100℃时表现出对NO2良好的气敏性能;WO3薄膜的成膜机理表明,造孔剂PEG-1000引导无机材料形成高孔隙率和高比表面积的三维多孔薄膜结构,该多孔结构有望作为NO2气体的潜在气敏材料.
ISSN:1005-3026
DOI:10.12068/j.issn.1005-3026.2019.08.019