腔体型超表面非制冷红外探测器

O623%TN214; 随着非制冷红外探测器像元尺寸的逐步缩小,提高探测器吸收率变得越来越重要.该文章基于现有的制备工艺,提出了一种IMIAM(Insulator-Metal-Insulator-Air-Metal)腔体型超表面非制冷红外探测器结构,在增强探测器吸收的同时有效改善了光敏层受热的均匀性.通过系统的仿真优化,其在长波红外波段(8～14 μm)的平均吸收率超过了 97％,使器件几乎实现了百分百的完美吸收,同时在中红外波段也表现出了优异的吸收特性.该文章还通过工艺验证了该结构的可靠性,对于改进现有非制冷红外探测器工艺具有一定的启示意义....

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Bibliographic Details
Published in红外与毫米波学报 Vol. 43; no. 5; pp. 621 - 627
Main Authors 杨君, 杨春丽, 方辉, 袁俊, 鄢善入, 李华英, 黎秉哲
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 昆明物理研究所,云南 昆明 650223 01.10.2024
Subjects
Optical absorption enhancement
VOx微测辐射热计
uncooled IR detector
光吸收增强
Metasurface
超表面
非制冷红外探测器
VOx microbolometer
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ISSN1001-9014
DOI10.11972/j.issn.1001-9014.2024.05.006

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Summary:O623%TN214; 随着非制冷红外探测器像元尺寸的逐步缩小,提高探测器吸收率变得越来越重要.该文章基于现有的制备工艺,提出了一种IMIAM(Insulator-Metal-Insulator-Air-Metal)腔体型超表面非制冷红外探测器结构,在增强探测器吸收的同时有效改善了光敏层受热的均匀性.通过系统的仿真优化,其在长波红外波段(8～14 μm)的平均吸收率超过了 97％,使器件几乎实现了百分百的完美吸收,同时在中红外波段也表现出了优异的吸收特性.该文章还通过工艺验证了该结构的可靠性,对于改进现有非制冷红外探测器工艺具有一定的启示意义.
ISSN:1001-9014
DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2024.05.006