基于人工微结构的光谱选择性红外热敏探测器

• Published in: 红外与毫米波学报 Vol. 42; no. 5; pp. 594 - 610
• Main Authors: 谈冲, 孙艳, 戴宁, 郝加明
• Format: Journal Article
• Language: Chinese
• Published: 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083 01.10.2023; 中国科学院大学,北京 100049%中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083%中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083; 复旦大学光电研究院,上海市智能光电与感知前沿科学研究基地,上海 200433
• Subjects: 超构表面; artificially engineered nanostructures; spectrally selective; 热敏探测器; 光谱选择性; metasurfaces; thermal detectors; 人工微结构
• ISSN: 1001-9014
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2023.05.005

O436%TN215; 红外热敏探测器不管是在军事还是在民用领域都有着非常重要的应用.传统的红外热敏探测器主要采用宽光谱吸收的方式,这虽然赋予了器件宽带响应的特点,但同时也会因为引入了不必要的辐射热导而增加本底噪声,从而限制了器件的探测性能极限.研究表明,具有窄带选择性吸收的热敏探测器在特定的条件下可以突破这一极限.经过精心设计的人工微纳结构不但可以实现波长选择性吸收来降低器件的辐射热导,而且由于其具有亚波长特性,还可以大大降低器件的热容,从而为实现高性能的红外热敏探测器提供了可能性.本文在简单介绍红外探测器基本概念的基础上,聚焦测辐射热计、温差电偶和热释电探测器件,回顾总结基于人工微结构体系的光谱选择性红外热敏探测器的相关研究进展.