甚长波碲镉汞红外焦平面探测器

TN215; 采用砷离子注入p-on-n平面结技术制备了77 K工作温度下截止波长分别为13.23μm和14.79μm、像元中心距为25μm的甚长波640×512探测器,并对其基本性能和暗电流进行了测试和分析.结果表明,对于截止波长为13.23μm的甚长波640×512(25μm),器件量子效率为55％,NETD平均值为21.5 mK,有效像元率为99.81％;对于截止波长为14.79μm的甚长波640×512(25μm),器件量子效率为45％,NETD平均值为34.6 mK,有效像元率为99.28％.这两个甚长波器件在液氮温度下的R0A分别为19.8Ω·cm2和1.56Ω·cm2,达到了&q...

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Published in红外与毫米波学报 Vol. 41; no. 5; pp. 818 - 824
Main Authors 李雄军, 邹雷, 赵鹏, 杨超伟, 熊伯俊, 王向前, 张应旭, 刘艳珍, 李红福, 赵榆松, 张绍裕, 李立华
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 昆明物理研究所,云南昆明650223%中国人民解放军63963部队,北京100072 01.10.2022
Subjects
碲镉汞
p-on-n
R0A
焦平面探测器
甚长波
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ISSN1001-9014
DOI10.11972/j.issn.1001-9014.2022.05.004

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Summary:TN215; 采用砷离子注入p-on-n平面结技术制备了77 K工作温度下截止波长分别为13.23μm和14.79μm、像元中心距为25μm的甚长波640×512探测器,并对其基本性能和暗电流进行了测试和分析.结果表明,对于截止波长为13.23μm的甚长波640×512(25μm),器件量子效率为55％,NETD平均值为21.5 mK,有效像元率为99.81％;对于截止波长为14.79μm的甚长波640×512(25μm),器件量子效率为45％,NETD平均值为34.6 mK,有效像元率为99.28％.这两个甚长波器件在液氮温度下的R0A分别为19.8Ω·cm2和1.56Ω·cm2,达到了"Rule07"经验表达式的预测值,器件噪声主要受散粒噪声限制,显示出了较好的器件性能.
ISSN:1001-9014
DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2022.05.004