化学气相沉积制备碳化硅涂层的彩色现象原因浅析

TB332; 针对化学气相沉积(CVD)法制备碳化硅(SiC)涂层在工程应用中出现的彩色现象,采用扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)、X射线衍射仪(XRD)等分析测试方法,研究了不同空气流量对CVD-SiC涂层表面形貌和组织结构的影响.结果表明:空气中的O2参与反应生成SiO2相是涂层表面出现彩色现象的主要原因;涂层中SiO2含量及涂层厚度的不同使涂层表面呈现彩色时颜色各异;随着空气流量增大,涂层表面SEM形貌由"砂砾状"演变为"菜花状",最后呈现为"棒状",导致涂层致密性下降....

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Bibliographic Details
Published in材料保护 Vol. 56; no. 2; pp. 179 - 182
Main Authors 李江涛, 孙佳庆, 魏庆渤, 张东生, 马美霞
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司, 河南 巩义 451200%巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司, 河南 巩义 451200 15.02.2023
郑州大学材料科学与工程学院, 河南 郑州 450001
Subjects
化学气相沉积
SiC涂层
表面形貌
彩色现象
组织结构
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ISSN1001-1560
DOI10.16577/j.issn.1001-1560.2023.0050

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Summary:TB332; 针对化学气相沉积(CVD)法制备碳化硅(SiC)涂层在工程应用中出现的彩色现象,采用扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)、X射线衍射仪(XRD)等分析测试方法,研究了不同空气流量对CVD-SiC涂层表面形貌和组织结构的影响.结果表明:空气中的O2参与反应生成SiO2相是涂层表面出现彩色现象的主要原因;涂层中SiO2含量及涂层厚度的不同使涂层表面呈现彩色时颜色各异;随着空气流量增大,涂层表面SEM形貌由"砂砾状"演变为"菜花状",最后呈现为"棒状",导致涂层致密性下降.
ISSN:1001-1560
DOI:10.16577/j.issn.1001-1560.2023.0050