MoS2对树脂基器件耐磨层改性的研究

TQ320.6; 为了延长树脂基器件耐磨层的寿命,研制了 Ti-DLC-MoS2复合膜层,以磁控溅射的方式对树脂基材料依次镀膜,并考察了不同镀膜工艺的效果.结果表明:与表面镀Ti-DLC混合膜层相比,Ti-DLC-MoS2复合膜层的耐磨性提高了 30％;与无膜层的树脂材料相比,Ti-DLC-MoS2复合膜层的耐磨性提高了 54％.腔内压力3.00 Pa,功率密度0.30 W/cm2镀Ti膜;腔内压力0.65 Pa,功率密度4.00 W/cm2镀DLC膜;腔内压力3.00 Pa,功率密度7.00 W/cm2镀MoS2膜的工艺条件下,复合膜层的摩擦系数最低,为0.077 6.Ti-DLC-MoS2...

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Published in材料保护 Vol. 57; no. 2; pp. 144 - 147
Main Authors 王云飞, 孟银娜, 高志廷
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 河南机电职业学院智能工程学院,河南 郑州 451191%洛阳鹰扬机电科技有限公司,河南洛阳 457000 15.02.2024
Subjects
二硫化钼膜
resin
diamond like carbon(DLC)coating
magnetron sputtering
树脂
磁控溅射
类金刚石膜
MoS2 coating
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Summary:TQ320.6; 为了延长树脂基器件耐磨层的寿命,研制了 Ti-DLC-MoS2复合膜层,以磁控溅射的方式对树脂基材料依次镀膜,并考察了不同镀膜工艺的效果.结果表明:与表面镀Ti-DLC混合膜层相比,Ti-DLC-MoS2复合膜层的耐磨性提高了 30％;与无膜层的树脂材料相比,Ti-DLC-MoS2复合膜层的耐磨性提高了 54％.腔内压力3.00 Pa,功率密度0.30 W/cm2镀Ti膜;腔内压力0.65 Pa,功率密度4.00 W/cm2镀DLC膜;腔内压力3.00 Pa,功率密度7.00 W/cm2镀MoS2膜的工艺条件下,复合膜层的摩擦系数最低,为0.077 6.Ti-DLC-MoS2复合膜层显著提高了树脂基器件的耐磨性能,能大幅延长树脂基器件的使用寿命.
ISSN:1001-1560
DOI:10.16577/j.issn.1001-1560.2024.0045