插入NiCr合金层对SnO2/Ag/SnO2多层结构透明导电薄膜热稳定性的影响

O472; 室温下通过磁控溅射技术制备了SnO2/Ag/SnO2(SAS)、SnO2/Ag/NiCr/SnO2(SANS)和SnO2/NiCr/Ag/NiCr/SnO2(SNANS)三类多层膜.采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、霍尔效应测量仪和紫外-可见分光光度计研究了大气和真空退火温度与薄膜结构、形貌和透明导电性能的关系.结果表明,随着退火温度升高,薄膜的结晶程度及透明导电性能先增强后下降,薄膜的粗糙度先下降后上升.插入NiCr合金层提高了薄膜的热稳定性,且在Ag层两侧插入厚的NiCr合金层时薄膜热稳定性最优.而薄膜在真空环境下比在大气环境下的热稳定性更优.450℃真空退火后...

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Published in功能材料 Vol. 53; no. 2; pp. 2167 - 2173
Main Authors 郑思龙, 祝柏林, 易昌鸿, 王崇杰, 吴隽
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 武汉科技大学 材料与冶金学院,省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室,武汉 430081 28.02.2022
Subjects
氧化物/金属/氧化物多层膜;透明导电性;退火处理;热稳定性;品质因子
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Summary:O472; 室温下通过磁控溅射技术制备了SnO2/Ag/SnO2(SAS)、SnO2/Ag/NiCr/SnO2(SANS)和SnO2/NiCr/Ag/NiCr/SnO2(SNANS)三类多层膜.采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、霍尔效应测量仪和紫外-可见分光光度计研究了大气和真空退火温度与薄膜结构、形貌和透明导电性能的关系.结果表明,随着退火温度升高,薄膜的结晶程度及透明导电性能先增强后下降,薄膜的粗糙度先下降后上升.插入NiCr合金层提高了薄膜的热稳定性,且在Ag层两侧插入厚的NiCr合金层时薄膜热稳定性最优.而薄膜在真空环境下比在大气环境下的热稳定性更优.450℃真空退火后,SNANS(1 nm NiCr)薄膜平均透光率(400～800 nm)为90.31％,电阻率为8.21×10-5Ω·cm,品质因子为3.87×10-2Ω-1.
ISSN:1001-9731
DOI:10.3969/j.issn.1001-9731.2022.02.025