粉末冶金Ta-Ru合金的制备及力学性能

TF125; 采用粉末冶金热压烧结法制备了适用于电子互连应用的高纯钽-钌(Ta-Ru)增强复合材料.在行星式球磨机上以不同的成分配比混合高纯度微米级钽-钌粉末,并在真空热压烧结炉中在1700℃的温度和20 MPa的压力下热压烧结3 h.通过XRD、SEM、EDS、抗拉强度测试等手段,研究了在不同Ru含量下所得材料的的相组成、显微结构、密度、硬度和抗拉强度.结果表明,随着Ru含量的增加,合金中先后形成TaRu、Ta3 Ru、TaRu4等金属间化合物,材料的致密度和抗拉强度逐渐升高,显微硬度先升高后降低.随着Ru含量的增加,合金的断裂方式由解理断裂逐渐转变为了沿晶断裂和韧性断裂....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in功能材料 Vol. 51; no. 6; pp. 138 - 185
Main Authors 郭帅东, 逯峙, 王广欣, 李磊
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 洛阳市高纯材料及溅射靶材重点实验室,河南 洛阳 471023%广西柳州钢铁股份有限公司 转炉炼钢厂熔剂车间,广西 柳州,545002 30.06.2020
河南省高纯材料及溅射靶材工程研究中心,河南 洛阳 471000
河南科技大学 材料科学与工程学院,河南 洛阳 471000
Subjects
力学性能
金属间化合物
钽钌合金
粉末冶金
热压烧结
Online AccessGet full text
ISSN1001-9731
DOI10.3969/j.issn.1001-9731.2020.06.023

Cover

More Information
Summary:TF125; 采用粉末冶金热压烧结法制备了适用于电子互连应用的高纯钽-钌(Ta-Ru)增强复合材料.在行星式球磨机上以不同的成分配比混合高纯度微米级钽-钌粉末,并在真空热压烧结炉中在1700℃的温度和20 MPa的压力下热压烧结3 h.通过XRD、SEM、EDS、抗拉强度测试等手段,研究了在不同Ru含量下所得材料的的相组成、显微结构、密度、硬度和抗拉强度.结果表明,随着Ru含量的增加,合金中先后形成TaRu、Ta3 Ru、TaRu4等金属间化合物,材料的致密度和抗拉强度逐渐升高,显微硬度先升高后降低.随着Ru含量的增加,合金的断裂方式由解理断裂逐渐转变为了沿晶断裂和韧性断裂.
ISSN:1001-9731
DOI:10.3969/j.issn.1001-9731.2020.06.023