大口径光学元件瞬态波前检测

• Published in: Guang Dian Gong Cheng = Opto-Electronic Engineering Vol. 45; no. 1; pp. 170536 - 62
• Main Authors: 孟诗, 陈磊, 朱文华, 孙沁园, 张瑞 / Meng Shi, Chen, Lei, Zhu, Wenhua, Sun Qinyuan, Zhang, Rui
• Format: Journal Article
• Language: Chinese; English
• Published: Chengdu Editorial Office of Opto-Electronic Advances 01.01.2018; 南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏 南京,210094
• Subjects: Air currents; Apertures; Beams (radiation); Carrier frequencies; Diffraction; Engineering; Fourier transforms; Interferometry; Lateral displacement; Optical components; Optics; Shearing; Theory; Wave front sensors; Wave fronts; China; Inner Mongolia China; 点衍射干涉仪; 大口径; instantaneous wavefront; optical measurement; 光学测量; large aperture; 瞬态波前; point diffraction interferometer
• ISSN: 1003-501X
• DOI: 10.12086/oee.2018.170536

为瞬态测量大口径光学元件波前，提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的Φ400 mm瞬态波前检测方法。该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光，从而在干涉图中引入高线性载频，采集到对比度良好的干涉图后，利用傅里叶变换相位解调法从单幅干涉图中提取待测波前相位，实现瞬态波前动态测量。实验光路总长近20 m，极易受气流的影响，且由于气流干扰随时间变化，该系统本身可以看作是大口径光学元件瞬态波前发生与检测装置。测试结果与SID4波前传感器比较，波前均方根（RMS）小于1/50 λ，可知所提方法可以实现大口径瞬态波前的高分辨率与高精度检测。