大口径强激光光学元件超精密制造技术研究进展

• Published in: Guang Dian Gong Cheng = Opto-Electronic Engineering Vol. 47; no. 8; pp. 200135 - 13
• Main Authors: 樊非, 徐曦, 许乔, 王健, 钟波, 谢瑞清, 雷向阳, 陈贤华, 汪圣飞, 侯晶, 邓文辉, 安晨辉, 周炼, 赵世杰, 廖德锋, 朱玉洁 / Fan Fei, Xu, Xi, Xu, Qiao, Wang, Jian, Zhong, Bo, Xie Ruiqing, Lei Xiangyang, Chen, Xianhua, Wang Shengfei, Hou Jing, Deng Wenhui, An Chenhui, Zhou, Lian, Zhao, Shijie, Liao Defeng, Zhu, Yujie
• Format: Journal Article
• Language: Chinese; English
• Published: Chengdu Editorial Office of Opto-Electronic Advances 15.08.2020; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川 绵阳 621900
• Subjects: Advanced manufacturing technologies; Apertures; Diamond machining; Efficiency; Flying cutting; High power lasers; Inertial confinement fusion; Lasers; Manufacturing; Mechanical engineering; Optics; Production methods; R&D; Research & development; Science; Solid state lasers; Supply chains; China; 确定性抛光; 高功率固体激光装置; 光学超精密制造技术; 大口径光学元件
• ISSN: 1003-501X
• DOI: 10.12086/oee.2020.200135

惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求，以及高效率、批量化制造需求。本文围绕“超精密、确定性”强激光光学元件全流程制造方法，总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重要进展，重点介绍了单点金刚石超精密切削技术、非球面超精密数控磨削技术、确定性抛光技术等一系列关键技术，以及相关工艺及装备在强激光光学元件批量制造流程线中的应用情况。