溶融シリカの製造

半導体素子の封止に用いられる充愼材用の高純度溶融シリカの製造開発を行い, 量産方法を確立した.火炎燃焼式のシリカ溶融炉において, 生産性と熱効率を上げるため小型で高性能の充填層予熱器を接続した部分安定化ジルコニア煉瓦による大型炉を開発すると共に, シリカの特性を利用してインゴットの下抜きによる連続式の溶融炉を開発した.生成する溶融シリカは, 装置からの汚染がないので高純度で, かつ, インゴットが急冷されるためクリストバライト化率の低い高品質品が得られた....

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Published in化学工学論文集 Vol. 22; no. 5; pp. 1207 - 1213
Main Authors 郷, 龍夫, 加藤, 信保, 坂口, 修, 本多, 宗高, 加藤, 邦夫
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 化学工学会 10.09.1996
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Summary:半導体素子の封止に用いられる充愼材用の高純度溶融シリカの製造開発を行い, 量産方法を確立した.火炎燃焼式のシリカ溶融炉において, 生産性と熱効率を上げるため小型で高性能の充填層予熱器を接続した部分安定化ジルコニア煉瓦による大型炉を開発すると共に, シリカの特性を利用してインゴットの下抜きによる連続式の溶融炉を開発した.生成する溶融シリカは, 装置からの汚染がないので高純度で, かつ, インゴットが急冷されるためクリストバライト化率の低い高品質品が得られた.
ISSN:0386-216X
1349-9203
DOI:10.1252/kakoronbunshu.22.1207