スパッタチタン薄膜の機械的特性 : 薄膜微細組織の透過電子顕微鏡観察

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Published in日本機械学会論文集 A編 Vol. 68; no. 672; pp. 1279 - 1284
Main Authors 小川, 博文, 金子, 新二, 鈴木, 清輝, 坂, 真澄
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 25.08.2002
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ISSN:0387-5008
1884-8338
DOI:10.1299/kikaia.68.1279