ELIDマイクロファブリケーションシステムにおけるマイクロツールの開発 第3報 : マイクロツールの高能率加工について

本研究では今までに, 「マイクロワークショップ」という概念に基づいて考案した小型立形円筒研削加工機 “KAMI-Ca-ZET方式” にELID研削システムを適用して, 微細加工において必要不可欠なマイクロツールの開発を行ってきた. 加工システムに旋回電極式ELIDシステムや, MQL加工法を適用することにより, 先端2 μm角のピラミッド型マイクロツールの製作が可能となった. そこで本研究では, さらにマイクロツール加工の高能率化のために, ELID研削システム適用の卓上型円筒研削加工機 “CYLIN” の開発を行った. 本報では, 小型立形円筒研削加工機 “KAMI-Ca-ZET方式” と卓...

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Published in砥粒加工学会誌 Vol. 49; no. 3; pp. 157 - 162
Main Authors 石川, 惣一, 山本, 幸治, 渡邉, 裕, 片平, 和俊, 上原, 嘉宏, 大森, 整, 三石, 憲英, 林, 偉民
Format Journal Article
LanguageEnglish
Published 社団法人 砥粒加工学会 01.03.2005
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ISSN0914-2703
1880-7534
DOI10.11420/jsat.49.157

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Summary:本研究では今までに, 「マイクロワークショップ」という概念に基づいて考案した小型立形円筒研削加工機 “KAMI-Ca-ZET方式” にELID研削システムを適用して, 微細加工において必要不可欠なマイクロツールの開発を行ってきた. 加工システムに旋回電極式ELIDシステムや, MQL加工法を適用することにより, 先端2 μm角のピラミッド型マイクロツールの製作が可能となった. そこで本研究では, さらにマイクロツール加工の高能率化のために, ELID研削システム適用の卓上型円筒研削加工機 “CYLIN” の開発を行った. 本報では, 小型立形円筒研削加工機 “KAMI-Ca-ZET方式” と卓上型円筒研削加工機 “CYLIN” の加工能率を調べた結果, 加工所要時間を1/30に短縮することができた. 基礎加工実験として, 砥石回転方向による加工面性状に影響があることが検証された. また, 形状精度評価実験で真円度には影響がないことが検証された.
ISSN:0914-2703
1880-7534
DOI:10.11420/jsat.49.157