真空製膜による薄膜の密着性 密着に及ぼす各種因子と改善方法
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| Published in | 表面技術 Vol. 58; no. 5; p. 275 |
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| Main Author | |
| Format | Journal Article |
| Language | Japanese |
| Published |
一般社団法人 表面技術協会
01.05.2007
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| ISSN: | 0915-1869 1884-3409 |
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| DOI: | 10.4139/sfj.58.275 |