枚葉式半導体洗浄装置内に形成される渦の周期構造

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Published in日本機械学会論文集 Vol. 81; no. 829; p. 15-00273
Main Authors 福田, 修也, 河内, 俊憲, 清水, 義也, 中野, 裕介, 永田, 靖典, 柳瀬, 眞一郎
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2015
Subjects
Flow stability
Large-scale structure
LES
PIV
Rotating disk
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ISSN2187-9761
DOI10.1299/transjsme.15-00273

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ISSN:2187-9761
DOI:10.1299/transjsme.15-00273