エアパルス式ディスペンサを用いた描画システムによる微細パターン形成

• Published in: 砥粒加工学会誌 Vol. 56; no. 5; pp. 331 - 335
• Main Authors: 吉冨, 健一郎, 宇根, 篤暢, 餅田, 正秋
• Format: Journal Article
• Language: Japanese
• Published: 社団法人 砥粒加工学会 01.05.2012
• ISSN: 0914-2703; 1880-7534
• DOI: 10.11420/jsat.56.331

微細構造体や微細パターンは，小型化や新しい機能性をもたせるために機械部品や電子デバイス，医療用デバイスの作製に応用されている．本研究では，μmオーダの形状精度をもつ微細パターン形成を目指し，エアパルス式ディスペンサを用いた描画システムの描画特性と描画パターンの形状精度について検討した．約10000cPの高粘度紫外線硬化樹脂を用いた実験結果より，点パターンについては形状精度に及ぼす吐出間隙の影響を明らかにするとともに，研削加工を組み合わせることで頭頂部の平坦度1μm以下のピン形状を形成した．直線パターンについては，描画条件に依存するパターン形成の可否および縁の揺らぎと高さのばらつきの小さい描画条件を示し，描画条件の最適化により，縁の揺らぎ2μm，高さのばらつき±2μmの直線パターンを得た．