微粒子のパターン化自己整列と転写を用いた粒子構造製作と研磨工具への適用検討

Saved in:
Bibliographic Details
Published in日本機械学会論文集Ｃ編 Vol. 79; no. 808; pp. 4564 - 4571
Main Authors 高田, 健一郎, 諸貫, 信行, 張, 文儒
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2013
Online AccessGet full text
ISSN1884-8354
DOI10.1299/kikaic.79.4564

Cover

More Information
ISSN:1884-8354
DOI:10.1299/kikaic.79.4564