強磁性体ターゲットを用いたマグネトロン装置の磁界解析
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Published in | 日本計算工学会論文集 Vol. 2001; p. 20010030 |
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Main Authors | , , , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
一般社団法人 日本計算工学会
2001
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ISSN: | 1347-8826 |
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DOI: | 10.11421/jsces.2001.20010030 |