フラッシングスプレー CVD 法による大面積ウエハへの Nb2O5 膜の成膜
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Published in | Journal of the Ceramic Society of Japan Vol. 115; no. 1344; pp. 498 - 503 |
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Main Authors | , , , , , , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
公益社団法人 日本セラミックス協会
2007
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ISSN: | 1882-0743 1348-6535 |
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DOI: | 10.2109/jcersj2.115.498 |