SOI 基板を用いたグラフェン形成に関する研究

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Published inJournal of the Vacuum Society of Japan Vol. 57; no. 4; pp. 144 - 146
Main Authors 枝元, 太希, 早久, 和希, 岡野, 資睦, 坪井, 直也, 碇, 智徳, 中尾, 基, 内藤, 正路
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本真空学会 2014
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ISSN:1882-2398
1882-4749
DOI:10.3131/jvsj2.57.144