電界放射顕微鏡および走査プローブ顕微鏡による電子源の評価

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Published inJournal of the Vacuum Society of Japan Vol. 58; no. 4; pp. 131 - 133
Main Authors 渡邉, 騎通, 田中, 深幸, 清水, 哲夫
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本真空学会 2015
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ISSN:1882-2398
1882-4749
DOI:10.3131/jvsj2.58.131