ナノチャネルを有する強誘電体ゲート薄膜トランジスタの作製とその電気特性評価
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Published in | Journal of the Vacuum Society of Japan Vol. 56; no. 5; pp. 172 - 175 |
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Main Authors | , , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
一般社団法人 日本真空学会
2013
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ISSN: | 1882-2398 1882-4749 |
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DOI: | 10.3131/jvsj2.56.172 |