鉄粉層内蔵ばね型アクチュエータを用いたリニア平面位置制御機構の開発

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Published inばね論文集 Vol. 2008; no. 53; pp. 37 - 43
Main Authors 藤中, 哲也, 長屋, 幸助, 坂本, 直也, 鹿島, 健作
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 日本ばね学会 07.05.2008
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ISSN:0385-6917
1348-1479
DOI:10.5346/trbane.2008.37