ドライエッチングによる透明熱可塑性樹脂の微細加工
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Published in | Journal of the Vacuum Society of Japan Vol. 52; no. 3; pp. 138 - 140 |
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Main Authors | , , , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
一般社団法人 日本真空学会
2009
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ISSN: | 1882-2398 1882-4749 |
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DOI: | 10.3131/jvsj2.52.138 |