高耐圧パワーデバイス応用を目指した SiC のエピタキシャル成長と欠陥制御

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Published inJournal of the Vacuum Society of Japan Vol. 54; no. 6; pp. 362 - 368
Main Authors 須田, 淳, 木本, 恒暢
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本真空学会 2011
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ISSN1882-2398
1882-4749
DOI10.3131/jvsj2.54.362

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ISSN:1882-2398
1882-4749
DOI:10.3131/jvsj2.54.362