半球形阻止電界型エネルギー分析器を用いたシリコン電界放出電子源のエネルギー分析

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Published inJournal of the Vacuum Society of Japan Vol. 51; no. 6; pp. 401 - 404
Main Authors 酒井, 善基, 大和田, 淳, 竹内, 光明, 後藤, 康仁, 長尾, 昌善, 辻, 博司, 石川, 順三, 酒井, 滋樹, 木本, 恒暢
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本真空学会 2008
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ISSN:1882-2398
1882-4749
DOI:10.3131/jvsj2.51.401