イオンビーム照射ポリフッ化ビニリデン薄膜のエッチング挙動— エッチング前処理・照射イオン効果の検討

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Published in高分子論文集 Vol. 65; no. 3; pp. 273 - 276
Main Authors 高橋, 周一, 前川, 康成, 越川, 博, 浅野, 雅春, 八巻, 徹也, 長谷川, 伸
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 高分子学会 2008
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ISSN0386-2186
1881-5685
DOI10.1295/koron.65.273

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ISSN:0386-2186
1881-5685
DOI:10.1295/koron.65.273