Reel-to-Reelシステムを用いたPLD-GdBa2Cu3Oy線材の高速成膜及び高Ic化技術

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Published in	低温工学 Vol. 43; no. 4; pp. 150 - 157
Main Authors	三浦, 正志, 須藤, 泰範, 吉積, 正晃, 山田, 穣, 和泉, 輝郎, 塩原, 融
Format	Journal Article
Language	Japanese
Published	公益社団法人低温工学・超電導学会 (旧社団法人低温工学協会) 2008
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ISSN:	0389-2441 1880-0408
DOI:	10.2221/jcsj.43.150

Reel-to-Reelシステムを用いたPLD-GdBa2Cu3Oy線材の高速成膜 及び高Ic化技術