高移動度塗布型酸化物薄膜トランジスタの開発

NHK放送技術研究所は，大画面の超高精細映像を家庭でも手軽に楽しめることを目指して，薄くて軽く柔らかいフレキシブルディスプレイに向けた駆動素子として，塗布溶液を用いて低コスト，省エネルギー，高生産性，大面積化を実現するために必要な塗布型酸化物薄膜トランジスタの研究を進めている．今回，フィルム適用可能な低温プロセスにおいても高品質化が可能な水系酸化物半導体の開発とともに，光照射によってその薄膜を直接パターン形成するダイレクトパターニング技術の開発により，高移動度塗布型酸化物薄膜トランジスタを実現した．また，本技術をフィルム基板上に形成することで，大画面フレキシブルディスプレイへの適用可能性も併せ...

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Published in映像情報メディア学会誌 Vol. 76; no. 1; pp. 135 - 140
Main Authors 宮川, 幹司, 辻, 博史, 中田, 充
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 映像情報メディア学会 2022
Subjects
ディスプレイ
プリンタブルエレクトロニクス
塗布プロセス
薄膜トランジスタ（TFT）
酸化物半導体
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Summary:NHK放送技術研究所は，大画面の超高精細映像を家庭でも手軽に楽しめることを目指して，薄くて軽く柔らかいフレキシブルディスプレイに向けた駆動素子として，塗布溶液を用いて低コスト，省エネルギー，高生産性，大面積化を実現するために必要な塗布型酸化物薄膜トランジスタの研究を進めている．今回，フィルム適用可能な低温プロセスにおいても高品質化が可能な水系酸化物半導体の開発とともに，光照射によってその薄膜を直接パターン形成するダイレクトパターニング技術の開発により，高移動度塗布型酸化物薄膜トランジスタを実現した．また，本技術をフィルム基板上に形成することで，大画面フレキシブルディスプレイへの適用可能性も併せて確認した．
ISSN:1342-6907
1881-6908
DOI:10.3169/itej.76.135