プラズマ支援反応性プロセスを用いた機能性酸化物薄膜の形成
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Published in | 溶接学会誌 Vol. 89; no. 7; pp. 472 - 475 |
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Main Authors | , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
一般社団法人 溶接学会
2020
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Subjects | |
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ISSN: | 0021-4787 1883-7204 |
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DOI: | 10.2207/jjws.89.472 |