シリコン単結晶の重回帰分析を用いたX線応力測定

Saved in:
Bibliographic Details
Published in日本機械学会論文集 A編 Vol. 72; no. 717; pp. 765 - 771
Main Authors 田中, 啓介, 町屋, 修太郎, 水野, 賢一, 秋庭, 義明
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 01.05.2006
Online AccessGet full text
ISSN0387-5008
1884-8338
DOI10.1299/kikaia.72.765

Cover

More Information
ISSN:0387-5008
1884-8338
DOI:10.1299/kikaia.72.765