耐摩耗プローブによる走査型プローブリソグラフィの描画安定性とスループットの向上

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Published in日本機械学会論文集 Vol. 81; no. 825; p. 14-00504
Main Authors 年吉, 洋, 藤田, 博之, 李, 永芳, 杉山, 正和, 冨澤, 泰
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2015
Subjects
Anti-wear probe
Arrayed probes
Drawing ability
Parallel drawing
SPL
Throughput
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ISSN2187-9761
DOI10.1299/transjsme.14-00504

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DOI:10.1299/transjsme.14-00504