ヒートモードリソグラフィーによるZnS-SiO2のナノスケール加工

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Published inレーザー研究 Vol. 34; no. Supplement; pp. 229 - 230
Main Authors 三浦, 博, 豊島, 伸朗, 林, 嘉隆, 三宮, 俊, 岩田, 周行, 高橋, 淳一
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 レーザー学会 2006
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ISSN:0387-0200
1349-6603
DOI:10.2184/lsj.34.229