(110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響

• Published in: 日本機械学会論文集Ａ編 Vol. 79; no. 804; pp. 1191 - 1200
• Main Authors: 上杉, 晃生, 平井, 義和, 菅野, 公二, 土屋, 智由, 田畑, 修
• Format: Journal Article
• Language: Japanese
• Published: 一般社団法人 日本機械学会 2013