(110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響

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Published in日本機械学会論文集Ａ編 Vol. 79; no. 804; pp. 1191 - 1200
Main Authors 上杉, 晃生, 平井, 義和, 菅野, 公二, 土屋, 智由, 田畑, 修
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2013
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ISSN:1884-8338
DOI:10.1299/kikaia.79.1191