硫化ニオブスパッタ膜の格子定数c軸長に及ぼすアルゴン分圧およびバイアス電圧の影響
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Published in | 日本機械学会論文集A編 Vol. 79; no. 802; pp. 779 - 783 |
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Main Authors | , , , , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
一般社団法人 日本機械学会
2013
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ISSN: | 1884-8338 |
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DOI: | 10.1299/kikaia.79.779 |