弾性波を用いた気相蒸着チタンナイトライド膜の特性評価 : 第2報, 圧縮負荷中のAE原波形解析による膜強度評価

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Published in日本機械学会論文集 A編 Vol. 63; no. 609; pp. 1057 - 1062
Main Authors 小川, 真吾, 長, 秀雄, 山中, 一司, 竹本, 幹男
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 1997
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ISSN:0387-5008
1884-8338
DOI:10.1299/kikaia.63.1057