クロスセクションポリッシャーの表面分析用断面試料作製への応用

構造解析を行うために，試料加工技術は非常に重要である．従来，広く利用されている機械研磨法，ミクロトーム法等は有効な方法であるが，複合材料などを加工することが難しい，広い範囲を加工することができない等それぞれに難点も合わせ持っている．これらの手法の難点を克服するために，ブロードなアルゴンイオンビームを照射し試料加工を行う方法（クロスセクションポリッシャー：CP）が開発された．CPでは従来困難であった複合材料等の加工が容易になり，分析の幅が広がった．CP加工においては，加工前の前処理が非常に重要であり，材料に合わせた工夫が必要である．表面分析における可能性を広げるため，様々な材料への応用例を紹介す...

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Published inJournal of Surface Analysis Vol. 15; no. 1; pp. 50 - 58
Main Authors 網田, 仁, 高橋, 早苗, 中村, 佳澄, 松本, 志磨子
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人　表面分析研究会 2008
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ISSN1341-1756
1347-8400
DOI10.1384/jsa.15.50

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Summary:構造解析を行うために，試料加工技術は非常に重要である．従来，広く利用されている機械研磨法，ミクロトーム法等は有効な方法であるが，複合材料などを加工することが難しい，広い範囲を加工することができない等それぞれに難点も合わせ持っている．これらの手法の難点を克服するために，ブロードなアルゴンイオンビームを照射し試料加工を行う方法（クロスセクションポリッシャー：CP）が開発された．CPでは従来困難であった複合材料等の加工が容易になり，分析の幅が広がった．CP加工においては，加工前の前処理が非常に重要であり，材料に合わせた工夫が必要である．表面分析における可能性を広げるため，様々な材料への応用例を紹介する．
ISSN:1341-1756
1347-8400
DOI:10.1384/jsa.15.50