ピクセル型STEM検出器の開発とその応用

走査透過電子顕微鏡（STEM）において，試料の各電子プローブ位置の回折パターンを2次元画像として記録する検出器をピクセル型STEM検出器と呼ぶ．この検出器は通常のSTEM検出器と異なり試料の回折面上の試料情報を捉えることが出来る為，このデータを処理することで様々なSTEM像を得ることができる．本稿では，我々のグループで開発されたピクセル型STEM検出器のハードウェアと応用データを紹介する．...

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Bibliographic Details
Published in顕微鏡 Vol. 53; no. 1; pp. 47 - 50
Main Authors 佐川, 隆亮, 染原, 一仁, 福田, 知久, 齊藤, 隆光, 橋口, 裕樹, 佐々木, 宏和, 近藤, 行人
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本顕微鏡学会 30.04.2018
Subjects
タイコグラフィー
ピクセル型STEM検出器
位相像
磁場マップ
電場マップ
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Summary:走査透過電子顕微鏡（STEM）において，試料の各電子プローブ位置の回折パターンを2次元画像として記録する検出器をピクセル型STEM検出器と呼ぶ．この検出器は通常のSTEM検出器と異なり試料の回折面上の試料情報を捉えることが出来る為，このデータを処理することで様々なSTEM像を得ることができる．本稿では，我々のグループで開発されたピクセル型STEM検出器のハードウェアと応用データを紹介する．
ISSN:1349-0958
2434-2386
DOI:10.11410/kenbikyo.53.1_47