TEM内その場変形トモグラフィー観察システムの開発

試料に応力を加えつつ電子線トモグラフィー観察が行えるシステムを開発した．その場変形トモグラフィー試料ホルダー，透過電子顕微鏡本体および撮像用カメラを統合制御し，試料に一定応力を加えたまま一定速度で傾斜しつつ連続傾斜像を高速収録する．この一連の作業を繰り返し，得られた連続傾斜像から三次元（3D）画像を再構成して収録順に出力することで，3D動画像を得る．Pb–Snはんだ合金への適用例を紹介する．...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in顕微鏡 Vol. 54; no. 1; pp. 44 - 48
Main Authors 宮崎, 裕也, 加茂, 勝己, 斉藤, 光, 村山, 光宏, 佐藤, 和久, 堀井, 則孝, 波多, 聰, 川本, 克巳, 古河, 弘光, 權堂, 貴志, 工藤, 博幸, 宮崎, 伸介
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本顕微鏡学会 2019
Subjects
その場（in-situ）観察
三次元（3D）観察
変形
透過電子顕微鏡法（TEM）
電子線トモグラフィー（ET）
Online AccessGet full text
ISSN1349-0958
2434-2386
DOI10.11410/kenbikyo.54.1_44

Cover

More Information
Summary:試料に応力を加えつつ電子線トモグラフィー観察が行えるシステムを開発した．その場変形トモグラフィー試料ホルダー，透過電子顕微鏡本体および撮像用カメラを統合制御し，試料に一定応力を加えたまま一定速度で傾斜しつつ連続傾斜像を高速収録する．この一連の作業を繰り返し，得られた連続傾斜像から三次元（3D）画像を再構成して収録順に出力することで，3D動画像を得る．Pb–Snはんだ合金への適用例を紹介する．
ISSN:1349-0958
2434-2386
DOI:10.11410/kenbikyo.54.1_44