AFM, QCM-Dおよびエリプソメトリーを用いた銅めっき添加剤吸着状態の解析

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Published in表面技術 Vol. 69; no. 11; pp. 521 - 526
Main Authors 久保田, 賢治, 樽谷, 圭栄, 中矢, 清隆, 酒井, 健一, 酒井, 秀樹
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 表面技術協会 01.11.2018
Subjects
Additive
Adsorption
Electrodeposition
Ellipsometry
QCM-D
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ISSN:0915-1869
1884-3409
DOI:10.4139/sfj.69.521