霧化気化法による超純水中の微量蒸発残留不純物の測定技術

超純水のオンライン水質モニタリングシステムを開発するため, 新しい方式の水質測定技術を提案し, 実験的に検討した. 提案した技術は, 水を高温 (70℃) の清浄空気 (粒径0.1μm以上の粒子を濾過) を用いて, 霧化と同時に気化させ, 蒸発した水滴から生成した微粒子をレーザー散乱式気中微粒子カウンターで計数する.この方法で測定した微粒子の体積を用いて, 不純物濃度 (TS : total solid) を得るものである. その結果, NaClを不純物に用いることにより, 本技術で蒸発残留不純物を測定できることを実証した.さらに本技術で超純水製造ラインの水質を評価し, 本測定値 (TS) は...

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Published in化学工学論文集 Vol. 14; no. 4; pp. 431 - 437
Main Authors 小関, 康雄, 山田, 章, 黒川, 秀昭, 江原, 勝也, 松崎, 晴美, 高橋, 燦吉
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 化学工学会 1988
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Summary:超純水のオンライン水質モニタリングシステムを開発するため, 新しい方式の水質測定技術を提案し, 実験的に検討した. 提案した技術は, 水を高温 (70℃) の清浄空気 (粒径0.1μm以上の粒子を濾過) を用いて, 霧化と同時に気化させ, 蒸発した水滴から生成した微粒子をレーザー散乱式気中微粒子カウンターで計数する.この方法で測定した微粒子の体積を用いて, 不純物濃度 (TS : total solid) を得るものである. その結果, NaClを不純物に用いることにより, 本技術で蒸発残留不純物を測定できることを実証した.さらに本技術で超純水製造ラインの水質を評価し, 本測定値 (TS) は現状測定値 (比抵抗, TOC, SiO2) と良好な相関が得られ, また全不純物指標として適することがわかった。
ISSN:0386-216X
1349-9203
DOI:10.1252/kakoronbunshu.14.431