熱ナノインプリント法による微細銅パターンの両面形成
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Published in | 表面技術 Vol. 66; no. 9; pp. 425 - 430 |
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Main Authors | , , , , |
Format | Journal Article |
Language | Japanese |
Published |
一般社団法人 表面技術協会
01.09.2015
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ISSN: | 0915-1869 1884-3409 |
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DOI: | 10.4139/sfj.66.425 |