Fluorescence response-based optical probing (FROP)法による難計測構造の3次元表面センシング

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Published in日本機械学会論文集 p. 25-00001
Main Authors 高橋, 哲, 吉川, 元弥, 河見, 建佑, 道畑, 正岐, 増井, 周造
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2025
Subjects
3-dimensional metrology
Confocal microscopy
Fluorescence
Optical probing
Surface detection
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ISSN2187-9761
DOI10.1299/transjsme.25-00001

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ISSN:2187-9761
DOI:10.1299/transjsme.25-00001